سیستمهای لایه نشانی در خلأ تشکیل شده از منابع تکنولوژیکی مختلف: مگنترونها، منابع یون، تبخیر قوسی شکل وکیومی با منبع تغذیه و کنترل مدرن ، و همچنین دیگر دستگاه ها و سیستم اجازه می دهد تا لایه های پوششی با خواص تقویت بالا و تکرار چرخه تا چرخه.
مشخصات:
1- اندازه اتاقکها:
- اندازه میلیمتر 500-2000
- ارتفاع میلیمتر 500-2000
- اتاق وکیوم به صورت عمودی و افقی
2- سیستم های وکیومی را می توان با استفاده از پمپ های مختلف ساخت.
3- منابع فن آوری:
- تبخیر قوسی شکل وکیومی
- منابع یون
- سیستم های لایه نشانیی مگنترون
4- منبع تغذیه پالس
تجهیزات پیشرفته تر می تواند پوشش های لایه ای الماس مانند (DLC) ایجاد کند . دستگاه به حالت دستی یا خودکار و با توجه به برنامه از پیش تعیین شده با یک کامپیوتر شخصی به کار گرفته می شود.
پس از لایه نشانی وکیومی با افزایش کار ابزارها روبرو خواهیم شد:
• برش صفحه 2 - 5 بار.
• تیغه های صنعتی 10 - 14 بار.
• پرس قالب 3-5 بار.
• چارچوب 3- 4 بار .
• مته ، برش،پمپاژ 2 - 4 برابر.
• لوازم جراحی پزشکی به 2- 4 بار.
دستگاه اجازه می دهد تا لایه بعدی برای پوشش ایجاد شود:
• پوشش وکیومی یک لایه ای : TiCN ، TiN، ZnN، CRN، AlCrN و غیره
• پوشش وکیومی چند لایه ای: TiN-TiCN-TiC; TiN ، TiAlN-AlTiN-Al2O3 و غیره
