وکیوم خطوط تکنولوژیکی

خطوط وکیوم برای استفاده از طیف گسترده ای از پوشش های (حفاظتی و تزئینی، تقویتی، اپتیکال) روش ترکیبی به صورت خودکار طراحی شده است.

ویژگی وکیوم خطوط تکنولوژیکی

 شامل:

-          حضور پیشین منبع یون اجازه می دهد به شما برای ایجاد پوشش هایی با خواص فیزیکی و مکانیکی بالا.

-          در نتیجه حذف به تدریج قطعات در روند فرآیند  شکل گیری پوشش یکنواخت و ناخالصی ها و به طور قابل توجهی کاهش می یابد و به طور قابل توجهی افزایش می دهد بهره وری از تجهیزات.

-          کنترل ضخامت در مرحله رسوب و خروجی طیفی توسط یک مانیتور کامپیوتر انجام می شود.

ویژگی های فنی خطوط وکیومی:

1-       تعداد اتاق - 3 - 7 عدد.

2-       اندازه لایه ها:

-          عرض - 3000 میلی متر

-          طول - 4000 میلی متر

3-      تعداد مگنترونها  2 - 7 عدد.

4-       تعداد منابع یونی - 1 - 3 قطعه.

5-       زمان چرخه تا 60 ثانیه.

6-       قدرت منبع تغذیه مگنترون - 10-70 کیلو وات

شرح:

1 گرمکن

2،3، 5، 7، 9. اتاق

4 منبع یون

6،8 مگنترونهای

10. قطعات

11 12 منبع تغذیه

13 پایه کنترل

14    سیستم پشتوانه

15 سیستم وکیوم بالا

16 پایه مدیریت

17  دروازه

I - V. اتاق