خطوط وکیوم برای استفاده از طیف گسترده ای از پوشش های (حفاظتی و تزئینی، تقویتی، اپتیکال) روش ترکیبی به صورت خودکار طراحی شده است.
ویژگی وکیوم خطوط تکنولوژیکی
شامل:
- حضور پیشین منبع یون اجازه می دهد به شما برای ایجاد پوشش هایی با خواص فیزیکی و مکانیکی بالا.
- در نتیجه حذف به تدریج قطعات در روند فرآیند شکل گیری پوشش یکنواخت و ناخالصی ها و به طور قابل توجهی کاهش می یابد و به طور قابل توجهی افزایش می دهد بهره وری از تجهیزات.
- کنترل ضخامت در مرحله رسوب و خروجی طیفی توسط یک مانیتور کامپیوتر انجام می شود.
ویژگی های فنی خطوط وکیومی:
1- تعداد اتاق - 3 - 7 عدد.
2- اندازه لایه ها:
- عرض - 3000 میلی متر
- طول - 4000 میلی متر
3- تعداد مگنترونها 2 - 7 عدد.
4- تعداد منابع یونی - 1 - 3 قطعه.
5- زمان چرخه تا 60 ثانیه.
6- قدرت منبع تغذیه مگنترون - 10-70 کیلو وات
شرح:
1 گرمکن
2،3، 5، 7، 9. اتاق
4 منبع یون
6،8 مگنترونهای
10. قطعات
11 12 منبع تغذیه
13 پایه کنترل
14 سیستم پشتوانه
15 سیستم وکیوم بالا
16 پایه مدیریت
17 دروازه
I - V. اتاق