سیستمهای لایه نشانی در خلأ وکیوم  پوشش الماسی مانند، بر روی فلزات، اپتیک و آلیاژهایی از منبع پلاسما یون پلاسما استفاده می شود. دستگاه لایه نشانی در خلأ اجازه می دهد تا یک پوشش  لایهای بر روی محصول با درجه حرارت کم داده شود. در تجهیزات لایه نشانی خلأ دستگاه می تواند در حالت دستی یا خودکار و با توجه به برنامه از پیش تعیین شده با یک کامپیوتر شخصی به کار گرفته شود.