1-       تعداد اتاق - 3 - 7 عدد.

2-       اندازه لایه ها:

-          عرض - 3000 میلی متر

-          طول - 4000 میلی متر

3-      تعداد مگنترونها  2 - 7 عدد.

4-       تعداد منابع یونی - 1 - 3 قطعه.

5-       زمان چرخه تا 60 ثانیه.

6-       قدرت منبع تغذیه مگنترون - 10-70 کیلو وات

شرح:

1 گرمکن

2،3، 5، 7، 9. اتاق

4 منبع یون

6،8 مگنترونهای

10. قطعات

11 12 منبع تغذیه

13 پایه کنترل

14    سیستم پشتوانه

15 سیستم وکیوم بالا

16 پایه مدیریت

17  دروازه

I - V. اتاق